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日立FlexSEM 1000掃描電子顯微鏡

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  • 緊湊型設(shè)計,分辨率為4 nm*1
  • 通過高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實現(xiàn)低加速電壓/低真空下高質(zhì)量圖像觀察
  • 操作簡捷,即使新手也能拍出高質(zhì)量的圖片
  • 新開發(fā)的導(dǎo)航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野
  • 大窗口(30 mm2)SDD能譜系統(tǒng),便于快速分析元素成分*2
*1設(shè)置在桌面時,分離主機和電源箱
*2選配

項目 內(nèi)容
分解能*3 4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
5.0 nm @ 20 kV (BSE低真空模式
加速電壓 0.3 kV ~ 20 kV
放大倍率 6× ~ 300,000× (底片倍率)
16× ~ 800,000× (顯示倍率)
低真空模式 真空范圍:6 ~ 100 Pa
電子槍 預(yù)對中鎢燈絲
樣品臺 3-軸自動馬達臺
X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
R:360°, T:-15° ~ +90°
max樣品尺寸 直徑80 mm
max樣品高度 40 mm
尺寸 主機:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm
探測器選配
  • 高靈敏度低真空二次電子探測器(UVD)
  • 能量分散型X線探測器(EDS)

*3
主機與供電單元組合使用
*
PC、桌子、機械泵、顯示器需要本地采購


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