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Diener 等離子清洗機(jī) NANO系列

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低壓等離子清洗機(jī) Diener NANO系列


低壓等離子技術(shù),氣體在真空中通過獲取能量從而被激發(fā)。等離子由高能離子、高能電子以及其它反應(yīng)粒子組成。由上,材料表面可以被有效的改變。等離子效應(yīng)可分為以下三類:

一微砂噴射:材料表面通過離子轟擊被消減

二化學(xué)反應(yīng):材料表面與離子化的氣體發(fā)生化學(xué)反應(yīng)

三紫外線放射:紫外射線將長鏈碳化合物分解

 

NANO多種配置,完全滿足不同客戶需求

                VERSION A

VERSION C

          VERSION D


    


   


規(guī)格、參數(shù):

系列

Nano系列

控制系統(tǒng)

半自動型

PCCE 控制系統(tǒng) (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

18~36L

真空腔室

圓形不銹鋼件,配有蓋子
(大約 Φ 267 mm, 長 420 mm 或者長 600 mm)或者

矩形不銹鋼件,配有鉸鏈的門
(約寬 240 mm x 高 240 mm x 深 420 mm 或者 600 mm)

配有蓋子的圓形鋁材,或者配有鉸鏈的門
(大約Φ  240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm)

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP),或者配有鉸鏈的門
(大約Φ 240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm)

配有蓋子的圓形硼硅玻璃 (UHP),或者配有鉸鏈的門
(大約Φ  240 mm, 長 400 mm 或者長 600 mm)

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

(選項:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉(zhuǎn)鼓、散裝件轉(zhuǎn)鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計

Pirani

Baratron(適用于腐蝕性氣體版本)

計時器

數(shù)字型

高頻電流發(fā)生器

40 kHz: 功率 0 - 300 W;0 -1000 W

13.56 MHz: 功率 0 - 100 W;0 - 300 W

2.45 GHz: 功率 0 - 600 W

所有發(fā)生器均為 0 - 100% 無級可調(diào)型

真空泵

規(guī)格和制造商均各有不同(按照活性炭過濾器的需要)

電源

臺式設(shè)備為 230 V,立式設(shè)備為 400 V/3 相位

應(yīng)用領(lǐng)域:

REM, TEM    考古 汽車制造業(yè)        橡膠制造業(yè)
微機(jī)械制造   傳感器檢測 滅菌        紡織業(yè)
醫(yī)療器械制造業(yè)

  塑料制造業(yè)                 

研發(fā)部門        電子半導(dǎo)體行業(yè)

應(yīng)用:
表面清潔
(e.g. before bonding, soldering or gluing)
表面活化
(e.g. before printing, varnishing or gluing)
表面蝕刻
(e.g. microstructuring of silicon or etching of PTFE)
表面涂層
(e.g. deposition of hydrophobic / hydrophilic layers)